AM 清华大学李杨课题 组基于湿法刻蚀实现Q值近千万的 妮酸鲤微环腔的高效制备
团队开发了一种用于薄膜铌酸锂（TFLN）的湿法蚀刻方法，成功制造了内在品质因数超过900万的微环。这种方法具有高通量、高可重复性和低成本蚀刻TFLN的特点，显示出极大地提升集成TFLN设备的大规模生产、高保真度和可负担性的潜力。
服务对象 ： 清华大学
发表时间： 2023年1月19号
发表期刊： ADVANCED MATERIALS
文章链接： https://doi.org/10.1002/adma.202370015
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