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AM 清华大学李杨课题 组基于湿法刻蚀实现Q值近千万的 妮酸鲤微环腔的高效制备 团队开发了一种用于薄膜铌酸锂（TFLN）的湿法蚀刻方法，成功制造了内在品质因数超过900万的微环。这种方法具有高通量、高...